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CBN砂輪磨光片的檢測(cè)分析

文章作者:ownpowerkefu

發(fā)表時(shí)間:2015-12-24 16:30:29

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[導(dǎo)讀:]CBN砂輪磨光片的檢測(cè)分析 CBN砂輪磨光片腐蝕A/B:經(jīng)切片及研磨等機(jī)械加工后,晶片表面受加工應(yīng)力而形成的損傷層,通常采用化學(xué)腐蝕去除。腐蝕A是酸性腐蝕,用混酸溶液去除損傷層,產(chǎn)生氟化氫、NOX和廢混酸;腐蝕B是堿性腐蝕,用氫氧化鈉溶液去除損傷層,產(chǎn)生廢堿液..

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CBN砂輪磨光片的檢測(cè)分析
        
        CBN砂輪磨光片腐蝕A/B:經(jīng)切片及研磨等機(jī)械加工后,晶片表面受加工應(yīng)力而形成的損傷層,通常采用化學(xué)腐蝕去除。腐蝕A是酸性腐蝕,用混酸溶液去除損傷層,產(chǎn)生氟化氫、NOX和廢混酸;腐蝕B是堿性腐蝕,用氫氧化鈉溶液去除損傷層,產(chǎn)生廢堿液。本項(xiàng)目一部分硅片采用腐蝕A,一部分采用腐蝕B。
  磨光片分檔監(jiān)測(cè):對(duì)硅片進(jìn)行損傷檢測(cè),存在損傷的硅片重新進(jìn)行腐蝕。
  CBN砂輪粗磨光片:使用一次研磨劑去除損傷層,一般去除量在10~20um。此處產(chǎn)生粗拋廢液。
  精磨光片:使用精磨劑改善硅片表面的微粗糙程度,一般去除量1 um以下,從而的到高平坦度硅片。產(chǎn)生精拋廢液。
  檢測(cè):檢查硅片是否符合要求,如不符合則從新進(jìn)行拋光或RCA清洗。
  檢測(cè):查看硅片表面是否清潔,表面如不清潔則從新刷洗,直至清潔。
  CBN砂輪包裝:將單晶硅磨光片進(jìn)行包裝。

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